पतली फिल्म piezoelectric तत्वों के उपयोग, और की एक किस्म को पूरा करने के क्रम में बढ़ते तक खींच वेफर से, उत्पाद डिजाइन और विनिर्माण प्रक्रियाओं को एकीकृत करता है कि इस उद्योग के पहले * फाउंड्री व्यापार, कार्यान्वित - माइक्रो इलेक्ट्रो मैकेनिकल सिस्टम - ROHM हाल ही में MEMS के लिए एक प्रक्रिया की स्थापना की है ग्राहक की जरूरत है.

दबाव लागू किया जाता है जब एक वोल्टेज पैदा करने में निहित संपत्ति के अधिकारी जो piezoelectric तत्व, अवरक्त और मानक कैमरे में सिस्टम autofocus पारंपरिक inkjet printheads से, इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों की एक विस्तृत विविधता में शामिल कर रहे हैं.

सामान्यतः accelerometers और gyroscopes में प्रयोग किया जाता है जो MEMS प्रौद्योगिकी, के साथ इन तत्वों के संयोजन, यह संभव डिजाइन सरल और बढ़ प्रदर्शन, कम लागत, और अधिक से अधिक अंत उत्पाद miniaturization के लिए योगदान, प्रसंस्करण नियंत्रकों के आकार को कम करने के लिए बनाता है. इसके अलावा, स्टैंडबाय के दौरान बहुत कम बिजली की आवश्यकता है जो piezoelectric तत्व ही है, के लिए ऊर्जा की बचत विशेषताओं बढ़ ध्यान जुटाने कर रहे हैं - विशेष रूप से बड़ी वृद्धि की उम्मीद है जहां सेंसर बाजार में.

ROHM पहले से ही इस तरह के औद्योगिक इंकजेट प्रिंटर, सेंसर, और पहनने योग्य उपकरणों के रूप में विकास बाजार, समायोजित करने के लिए piezoelectric एमईएमएस ग्राहकों की आवश्यकताओं पर आधारित उत्पादों और धीरे धीरे हमारे उत्पादन लाइनों के विस्तार के संयुक्त विकास का आयोजन शुरू हो गया था. ROHM अधिक miniaturization और ऊर्जा बचत को प्राप्त करने के क्रम में MEMS प्रौद्योगिकी के साथ piezoelectric तत्वों को एकीकृत करने के लिए जारी होगा आगे जा रहे हैं.

हालांकि, piezoelectric MEMS, उच्च piezoelectric गुण और परिशुद्धता निर्माण और सूक्ष्म piezoelectric तत्व की ढलाई के पास उस पतली फिल्म बयान की युक्ति निर्माण में महसूस करने के लिए मुश्किल है. इसके अलावा, उच्च परिशुद्धता प्रसंस्करण एमईएमएस ब्लॉक ड्राइव के लिए आवश्यक है, और अतिरिक्त ज्ञान और विशेषज्ञता - नई प्रौद्योगिकियों की खेती के साथ - अगली पीढ़ी के अनुप्रयोगों और उभरते बाजारों का समर्थन करने के क्रम में की जरूरत है.

इन चुनौतियों के जवाब में, ROHM पतली फिल्म piezoelectric तत्व के अनुसंधान में लगी हुई है. , और भी शामिल है जो पूरे ROHM समूह की सामूहिक उत्पादन तकनीकों के संयोजन से बनाया विकास तालमेल का लाभ लेने से पतली फिल्म piezoelectric तत्व के लिए मूल्यांकन माप तरीकों पर कोबे विश्वविद्यालय में इंजीनियरिंग के स्नातक स्कूल के प्रोफेसर Isaku Kanno के निष्कर्षों के आधार पर दीर्घकालिक स्मृति के लिए खेती ROHM के ferroelectric प्रौद्योगिकी, लापीस सेमीकंडक्टर की उच्च संवेदनशीलता एमईएमएस / बढ़ते प्रौद्योगिकी, और Kionix के एमईएमएस miniaturization प्रौद्योगिकी, हम लापीस सेमीकंडक्टर मियाज़ाकी में एक विनिर्माण प्रक्रिया स्थापित करने और बाजार और आवेदनों की एक किस्म के लिए अनुकूलित piezoelectric एमईएमएस प्रदान करने में सक्षम थे .

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